Grundlegendes zur Diplomarbeit
Diese Diplomarbeit beschreibt die Herstellung und Charakterisierung von ultradünnen Filterfolien für den EUV*- und Röntgenbereich.
Die Filterfolien haben eine Dicke von 200nm. Sie wurden mittels einer Elektronenstrahlaufdampfanlage aus verschiedenen Metallen hergestellt. Die Parameter zur Herstellung dieser Folien wurden empirisch ermittelt und der Herstellungsprozess optimiert. Die Oberflächenrauhigkeit und die Dicke der Folien wurde durch ein Atomkraftmikroskop gemessen. Ein Rasterelektronenmikroskop wurde verwendet, um Anomalien wie Pinholes und Risse zu finden. Die Folien wurden zur Filterung einer Flüssigkeitsjet-Laserplasmaquelle emittierten weichen Röntgenstrahlung von 13nm verwendet. Je nach Material und Dicke der Filter wurden bestimmte Bereiche des weichen Röntgenspektrums der Quelle unterdrückt oder transmittiert. Ausserdem sollten die Filter die optischen Bauteile vor Verschmutzung sowie die empndliche CCD**-Kamera vor Laserstrahlung schützen.
*Extreme-Ultra-Violett
**Charged Coupled Device = Ladungsgekoppeltes Bauteil
200nm-Aluminiumschicht auf Glassubstrat
CCD-Aufnahme einer Filterfolie
